二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider #9292668 待售
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ID: 9292668
晶圆大小: 8"
Cu Plating system, 8"
With (2) Plating chambers
(2) Cleaning chambers
Bevel clean chamber.
AMAT/APPLICED MATERIALS Raider™是一种先进的光阻设备,其设计目的是在光刻生产过程中提供对遮罩图样的精确曝光。AMAT Raider是为满足半导体行业的严格要求而设计的,它具有精确的光学性能、坚定不移的精度和可靠的长期性能。APPLICED MATERIALS Raider利用先进的照明系统,精确地照亮具有一致和可重复曝光特性的短而深的紫外线图样标记,从而确保半导体晶片特征图样的高精度。其固态激光源提供了非凡的点对点曝光均匀性,允许光聚合物材料的缓慢、增量曝光,而不会改变特征位置。它的自动化输出也可以被编程为自动化和可重复的过程,允许同时涂覆和暴露多个晶片。该单元的控制单元设计为提供对所有功能的可靠控制,以及易于使用的编程,允许晶片的快速可靠的处理。Raider利用精密、高精度的成像光学器件,启用图形用户界面(GUI)进行掩码对齐,以增强操作员体验。其自动级跟踪机设计为确保每个晶片在整个过程周期内保持其原始注册。使用独特的无边边缘传感器可以最大程度地减少曝光过程中掩码未对准的可能性,而内置的芯片边缘掩码检测功能可以使流程流畅、一致。AMAT/APPLIED MATERIALS Raider的设计旨在简单地与光刻系统和机器人技术集成,简化工作流程并自动执行其他手动过程。该工具的开放式体系结构还允许在集成不同资产组件时实现自定义和灵活性。所有这些都确保了光刻胶的创新、高质量的曝光,产生了符合或超过行业标准的结果。简而言之,AMAT Raider是一款先进的光阻模型,旨在提供光刻面罩和光聚合物材料的优越、可重复的曝光,同时还提供与其他系统和组件的定制集成。其精密可靠的照明设备、精密光学器件和自动跟踪功能都协同工作,确保半导体晶圆在每次运行时都能精确图案化。
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