二手 AND ASP-2000 #9373108 待售

AND ASP-2000是日本TechnoChem制造的光刻设备，用于先进的光刻。该系统使用光、溶剂和紫外线辐射的组合来蚀刻图样到诸如硅片之类的基板上。ASP-2000可以使用单面或双面晶片,具体取决于应用程序。它首先用非水性、极性和质子溶剂的特殊组合处理晶片，以去除污染物。这也保证了将被均匀涂抹的光刻胶涂层附着在基板上。晶片准备好后,WAND ASP-2000涂上光敏涂层.该单元的设计允许根据特定应用程序所需的特征尺寸来选择不同类型的光刻胶。一旦应用了光致抗蚀剂，晶片就会暴露在与所创建的形状和图样相对应的波长光中。光线经过晶片数次，允许应用具有不同化学性质的光致抗蚀剂层。在这一点上，晶圆已经准备好发展。根据应用情况，可以使用氧等离子体或空气基方法将暴露的图样蚀刻到光致抗蚀剂中。在此步骤中,空气或等离子体会去除任何残留的污染物,并且还会对光致抗蚀剂进行质化,以便以后更容易地将其去除。最后，不需要的光致抗蚀剂溶解掉使用热浴和化学处理的组合，留下所需的图样在基板上。如果需要处理双面晶片，那么在第二面重复同样的步骤。ASP-2000是一种功能强大且用途广泛的光刻机,可用于多种应用。高可靠性，具有较高的吞吐量能力，使其成为芯片厂商的热门选择。