二手 AND ASP-2000LX #9205491 待售

AND ASP-2000LX
製造商
AND
模型
ASP-2000LX
ID: 9205491
晶圆大小: 2"
优质的: 2010
Track systems, 2" 2010 vintage.
AND ASP-2000LX是为工业用途而设计的高精度全自动光刻设备。它是一个独特的系统,它将抗蚀剂涂层的曝光、曝光后烘烤和开发结合成一个完全自动化的操作。该单元旨在简化生产过程,并通过不断监测工艺参数来提高产品产量,并实时进行调整以确保产品的最佳质量。本机主要由两个部分组成:曝光单元和工艺控制单元.曝光单元配有精密控制的激光二极管,可编程为在广泛范围内设定曝光时间和功率水平。这样可以使抗蚀剂厚度控制的精度超过1%,并且可以对工具进行编程以处理各种不同的光刻材料。过程控制单元是资产的大脑,负责管理暴露后的各种操作。它包括用于曝光后烘烤过程的高精度烤箱、用于准确确定曝光后最佳烘烤时间的视觉模型,以及用于快速去除曝光和未曝光光抗蚀剂而不损坏基材的自动化开发设备。此外,ASP-2000LX还包括一个综合软件套件,用于控制系统和的各种功能,用于监视、记录和分析流程数据。此软件还允许用户根据所使用基板的类型和尺寸自定义曝光配置文件、烤箱温度和开发参数。总体而言,AND ASP-2000LX光致抗蚀剂单元是一种先进的工业解决方桉,它提供了对整个光致抗蚀剂过程的精确控制。它使用户能够提高产品产量并减少曝光时间,同时确保结果的准确性和一致的质量。
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