二手 AND ASP-2000LX #9205493 待售

ASP-2000LX光敏设备是一种进行高精度制造的高性能系统.此单元使用深度、超精密的激光光刻技术来制作尺寸小于1.5 μ m的图样。机器由302 nm激光源、控制过程的测量工具、激光调制器和先进的控制单元组成。利用激光调制器对激光束进行精确调制，以产生图样。测量资产用于两种用途，一种是报告与过程相关的各种参数，如偏转角和激光强度，另一种是为控制单元提供反馈，以实现准确和可重复的结果。控制单元提供高级操作控制。这允许用户以非常精确的方式调整速度、模式方向、大小和波长。此外,控制单元还存储多种形状和大小的阵列,从而提高了精度和可重复性。此模型还允许对图桉进行高度精确的对齐,从而产生微小的图桉特征和改进的线条边缘粗糙度控制。设备的光学和机械性能符合高端精度标准,因此,对于1.5 μ m或以下的抗蚀剂和线宽,其性能可达到1 nm的精度。结果是非常小、准确和可重复的模式。这些图样可用于各种制造过程，如蚀刻、沉积、金属化和更多。总体而言，ASP-2000LX光刻胶系统是一个强大的和先进的单元，旨在提供高精度的制造过程，准确，可重复的结果。它能够生成特征大小约为1.5 μ m的模式,并提供高级反馈控制,以提高准确性和可重复性。它的可编程设置使得它成为高度专业化的制造过程的理想机器。