二手 AND ASP-2000LX #9375092 待售
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ASP-2000LX是一种先进的光刻设备,设计用于处理大量生产的微型和MEMS组件。该系统具有最高的精度和可重复性,可用于制造最小特征尺寸为7 µm的组件。ASP-2000LX利用一个优化的双站分配单元,管理两个堆迭的分配头,以精确的双分配光刻材料。这台机器还具有先进的高分辨率成像仪和近衍射有限分辨率。具有8倍和16倍变焦光学功能,AND ASP-2000LX可对尺寸小至7 µm的光刻胶特性进行详细成像。ASP-2000LX有一个内置的光刻胶参数设置库,它简化了抗蚀剂的选择,并且提供了基于光刻胶类型的自动参数加载。该库还存储各种配方,如预编程的开发时间,允许用户快速调整不同的基材和制造参数。内置晶片对齐工具使用高分辨率对齐场,根据需要将光刻胶图桉精确放置在晶片上。自动缺陷校正功能允许用户调整光刻胶图像的焦点以补偿任何缺陷,并确保将图像精确传输到晶片上。光刻胶处理工具还提供统一的透镜通信,所有相关数据直接发送到机器和/或系统进行网络集成。此功能允许对光刻胶处理资产进行高级控制,同时监视光刻胶阶段。ASP-2000LX设计用于高精度和可重复性的元件的大批量生产。这种光刻胶模型的先进特性和功能允许对最小特性尺寸为7µm的微型和MEMS元件进行精确处理,使其成为各行业大批量制造元件的最佳选择。
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