二手 AND ASP-2000LX #9375095 待售

ASP-2000LX光刻设备是一种最先进的光刻系统，设计用于半导体材料和其他敏感产品的高精度微制造。这种光刻装置能够生产小至0.5微米（0.0000002英寸）的结构。该机具有多种用户友好的功能，如多层曝光，通过同时曝光几层来加速流程，以及先进的对齐定位机制。ASP-2000LX工具的设计采用了专有的双光源。该资产配有一个未过滤的水银灯和一个过滤的LED阵列，可提供广泛的光谱。这两个光源可以分开使用，也可以在广泛的多层曝光中一起使用。双光源设计提高了吞吐量和吞吐量，同时在其光刻过程中提供了更高的精度和分辨率。通过精确对齐配准启用多层曝光。这一机制采用视觉对准、自动XY级、激光干涉仪和边缘检测方法的组合，以确保多层之间的精确对准。自动XY级还带有一个精确控制器,用于精确定位层边缘。除了高精度多层曝光外,AND ASP-2000LX模型还配备了先进的照片开发设备,可自动处理光刻胶图像。这包括自动化光化学、抗蚀剂开发阶段和开发后检查。自动化系统确保了每一层的统一开发,并具有一致的高分辨率.此外，ASP-2000LX单位还配备了车载数据记录仪。这种位于中心位置的数据记录器可以轻松安全地收集测试结果和开发数据。这使操作员能够审阅和分析流程性能,并开发出更好的流程参数。ASP-2000LX光刻机是一种用于敏感和半导体材料精密微加工的强大而可靠的工具。凭借其先进的双光源技术、多层曝光能力、精确对准配准、先进的照片开发工具和车载数据记录器，该资产是生产优质光刻产品的高性价比、高效光刻模型。