二手 AND ASP-2000X #9373110 待售

而ASP-2000X光敏设备是制造高精度微电子元件的关键要素。该系统由先进的、高精度的曝光单元、化学输送机和真空纺纱平台组成，共同为小型微电子元件的加工提供了综合湿法化学溶液。The Exposure Tool uses a electron bamb unit to非常精确地将紫外线和化学物质的最佳水平暴露在基板的正确区域。该资产具有极高的精度和可重复性,能够对亚微米大小的特征进行阵列设计.化学输送模型将化学物质精确地泵入基板中,并具有正确的定时和准确度。这确保了该化学品具有适当的形式和适当的浓度才能有效。真空旋转平台被用来以非常慢的速度旋转基板。这样可以确保化学物质均匀地散布在基板表面，并达到适当的暴露量。该设备提供了一系列用于定义化学和接触参数的选项。该系统还能够使用多种化学品和暴露时间在基板上创建3维特征。该单元能够创建低至0.1微米的小特征。ASP-2000X是一种高度先进的光刻机，可用于制造小型微电子元件。它提供了一个精确和可重复的模式解决方桉，以及一个通用和灵活的选项控制暴露和化学沉积。该工具能够在基板上创建低至0.1微米的小特征，确保精确和高精度的微电子元件。