二手 AND ASP-2000X #9373113 待售

AND ASP-2000X
製造商
AND
模型
ASP-2000X
ID: 9373113
晶圆大小: 2"-6"
(3) Coater / (4) Developer systems, 2"-6".
而ASP-2000X是一种为研究和工业应用而设计的高度先进的光阻设备。它的工作原理是"开发"由光敏材料制成的光学图像到其他东西上,如印刷电路板、胶片或抗蚀层。ASP-2000X能够产生极精细的细节,可以深埋50 µm。该系统使用专门的照明单元,用感光材料、感光器和光活性化合物组成的感光化学材料,将AND涂覆在基板表面。然后将感光材料暴露于光中以创建图像。曝光被控制并记录下来,允许用户根据自己的要求定制流程。调整光的强度和波长以产生所需的分辨率。一旦曝光完成,基板就会经过一个对齐站,在那里,基板被精确地注册并对齐,达到高达0.1µm的精度水平。专门的蚀刻头是用来蚀刻掉暴露的区域。蚀刻头是可调的,以允许不同厚度的基板。最后,基材再经过烘干机,使裸露区域变硬。AND ASP-2000X的主要特点之一是其集成的自动化过程控制(APC)单元。这台机器允许对流程进行实时监控,允许用户在必要时在曝光期间对流程进行调整和更正。此外,可以对APC工具进行编程,以存储多个暴露参数,并且能够进行自学,从而对其进行优化以提高生产能力。ASP-2000X是一项非常先进的资产,旨在提供卓越的图像分辨率、高精度和可重复性。其集成的APC模型允许实时监控和控制,而其易于使用的界面使得该领域的新手可以访问。该设备非常适合研究和工业应用。
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