二手 AND ASP-2000X #9409925 待售
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ASP-2000X是一种光阻设备，旨在支持广泛的微电子和光电过程。它由精密光学、成像、处理和控制模块组成,这些模块结合在一起可提供高性能、经济高效的光刻胶解决方桉。该系统提供两种不同类型的曝光,激光和光.激光曝光单元在193至400 nm的波长范围内工作，单次曝光的曝光时间可控在0.5至999秒。该机配备了高分辨率的平面场投影光学器件，数值孔径为0.5。它在非常宽广的区域内提供出色的平地照明。光照工具的最大曝光时间可达999秒,工作波长范围为400至750 nm。它具有比激光资产更短的曝光时间，并且提供高速的可编程平地投影仪。该模型包括一个扫描机制，允许基板在曝光过程中移动。这使操作员能够确保曝光在整个基材体积上。扫描运动可以在三个不同的方向：X轴、Y轴和Z轴。该设备包含一个图像处理器，允许用户以高精度控制曝光参数和获得的图像。图像处理器还可用于比较暴露区域的图像与写入系统的精确坐标,如果发现差异,请采取纠正措施。该单元集成了一整套控制功能,提供远程操作和控制以及数据日志记录。它还与各种其他系统连接,从而实现最大程度的控制和灵活性。ASP-2000X光刻机为用户提供了光刻操作的最高精度和精度。该工具用户友好、快捷,并且为各种微电子和光电子应用提供了灵活、经济高效的解决方桉。
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