二手 ANDA iCoat #9399294 待售
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ANDA iCoat是一种光刻设备,专为微加工环境中的精密光刻应用而设计.该系统专为处理各种光掩模和晶圆尺寸而设计,提供最大的处理灵活性。ICoat单元使用专门的抗蚀剂材料和各种工艺来产生具有高精度、分辨率和可重复性的掩模模式。该机器采用并结合了多种技术,如动态真空工艺(DVP)抗拒和抗拒硬化技术(RHT),其设计目的是促进一致、高质量的结果,而不管模式的大小或复杂程度如何。使用ANDA iCoat工具,利用特殊的激光光源在晶片基板上创建光掩模图样。激光减小了抗性材料,使得所需的图样在晶片上形成。然后利用光刻技术开发光掩模,并形成所需的图样.在晶片上形成图样后,进行进一步的处理,如辐射和蚀刻,以产生所需的结果。ICoat资产被设计为在生产任何大小的图样晶片时都是有效、一致和可重复的。该过程由自动参数控制,这些参数允许为所有晶圆大小输出可重复的模式。此外,该模型还包括多种工具和辅助工具,可帮助操作员在不牺牲所需平版印刷性能的情况下实现所需的精度和可重复性。为了使设备的效能最大化,必须对操作员进行系统本身操作方面的高度培训。ANDA iCoat专门提供了一个广泛的培训课程,使操作员具备有效使用该单元的各种应用程序的知识和技能。ICoat机器具有多种优点,例如易于使用和快速拒绝率,以及高精度和可重复性。该工具提供了一种快速有效的方法来实现所需的光刻结果,确保晶片基板的完整性和所需的结果。
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