二手 APPLIED MULTILAYERS CFM 650 #9251234 待售

APPLICED MULTILAYERS CFM 650是一种基于光活性聚合物层（PALS）的化学和机械性质的光敏系统。它设计用于玻璃、半导体材料和塑料等基板上的多层堆迭层，用于微机电系统（MEMS）和其他集成电路制造。CFM 650与APEX系列的Exposure and Development系统协同工作,以提供真正创新的无掩码平版印刷解决方桉。APPLICED MULTILAYERS CFM 650包含许多功能,使其非常适合MEMS应用。它有一个牛津仪器ACE3000自动对齐器，可以精确地定向基板，使其与CFM 650对准，精度在1 µm以内。这样可以确保精确设置工艺参数以获得最佳结果。此外,APEX控制软件还控制大量单个层的堆积,这些层的厚度可达10 µm,并具有多达12层的堆积。这是使用UV-固化树脂来得到高于平均水平的聚合物层均匀性在高度复杂的3D结构。光阻系统还可以通过改变脉冲重复率、激光功率和聚焦位置来控制激光曝光参数。它还可以使用Aculon数字显微镜管理开发的光刻胶图样从暴露的基板到目标基板的转移参数。它还集成了一个氟定（包装）站，该站允许将已完成的产品包装在蚀刻盒包装中，以便进一步整合到MEMS产品中。最后,应用多层CFM 650光刻胶系统提供了高精尖、精确的MEMS制造.其特点为无掩模光刻工艺提供了必要的控制和光刻层的均匀性，以保证最终的结果。此外，它在完全蚀刻的情况下自动转移和包装完成的MEMS产品的能力进一步提高了可靠性。