二手 APT 9145 EP #9124776 待售

APT 9145 EP是在研究、半导体、微电子、薄膜太阳能电池和医疗器械行业中，为晶片提供最高分辨率图样设计的光阻设备。系统使用预定义的带有照明模式的投影面罩,使基板在单个周期内能够在不同位置曝光。这种投影使得小至42 nm的特徵可以在基板上图样化。该装置采用先进技术的光学机器，配有集成透镜，确保了要求苛刻的光刻应用的最佳均匀性和准确性。该工具还带有一个可调运动阶段和全自动曝光过程，可重复和统一的过程。该资产利用线性投影远心电动机来确保模式焦点和尺寸在基板的每平方毫米上始终保持不变。这样可以确保以一致的精度创建阵列。该型号随附的软件对用户友好,可帮助用户优化光刻设备的参数,从而在设计基板时为用户提供了丰富的选择。此外，该软件允许用户快速存储和回忆不同的参数，允许重复和准确的结果。在后处理方面，该系统具有多种选择，有助于确保在保持最佳基板稳定性的同时，对有图样的基板进行完全清洁。备选方桉包括使用臭氧、卤仿和二氧化硫，以便以最小的损害彻底清洁底物。该机还有一台水冷却机，可用于在暴露过程中稳定基板温度。该工具有助于减少热损伤，并确保基板在加工过程中保持冷却。简而言之,APT 9145EP是一种功能强大且可靠的光阻设备,可为用户提供各种基板阵列应用程序所需的大量精度和精确度。