二手 ARGUS INTERNATIONAL 9324 #9026013 待售

ARGUS INTERNATIONAL 9324是一款高精度的光阻设备，专为微机电系统（MEMS）生产中的专业用途而设计。该系统允许使用数字光处理（DLP）平台通过其获得专利的无掩码光刻工艺进行精确曝光。其广泛的波长范围使用户能够试验各种抗蚀剂和材料。此外，曝光时间是可调的，这允许更精确的结果。9324使用可以切换/控制的固态光源提供不同的波长。这使其成为微微和亚微光刻项目的理想选择，并为各种物体提供了最佳聚焦条件。与其他光刻胶系统相比，ARGUS ARGUS INTERNATIONAL 9324保证了卓越的长期安装稳定性和最低维护要求。它还具有一个自动校准单元，确保在任何时候精确暴露剂量。9324提供的全视野为10"至6.14"，而矩形结构的最大分辨率为40 µm，圆形结构为80 µm。它可以处理高达8 "x 6.14"的样品，其高保真度和准确性为不同蚀刻提供了最佳条件。该机配备了涵盖多种应用的广泛程序，如层蚀刻、厚薄氧化物层、致密薄金属层、防护涂层等。此外，所有与光刻胶相关的工艺都可以通过ARGUS INTERNATIONAL 9324提供的自动化控制工具进行监控。该资产允许用户调整曝光时间、剂量和工艺数量，以及监控开发、成像和蚀刻。9324在多功能性和性能之间提供了极好的平衡。它获得专利的无掩码光刻技术确保了高精度，并且可以很容易地与市场上现有的大多数生产系统集成在一起。因此，这种光刻胶模型为大学研究实验室或生产线设施提供了理想的解决方桉。