二手 ASML / SVG 90S #9197270 待售
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ID: 9197270
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
DUV System, 8"
Model no: 9068
Top assembly P/N: 99-47302-01
Sub assembly P/N: 99-40407-03
Includes:
Interface block
SVG End station P/N: 99-48240-01, 9062
MICROBAR P/N: Trackmate
SVG Semifab precision air handler P/N: 224-203, RAM 2000/480/SVG
EPE Technologies transformer P/N: 8-77115-07
DONALDSON Carbon filter system P/N: P196160
Miscellaneous panels / Covers / Hardware
Power requirements: 208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
1995 vintage.
ASML/SVG 90S是一种光刻设备,利用深紫外线成像和光能相结合,在晶圆上创建图样。该系统专为半导体工业而设计,提供卓越的精度和特征尺寸的可重复性。SVG 90S是一个进化单元,它提供了最高的曝光波长精度和特征大小可重复性。它具有先进的光学组件,可提供完整的视野,并具有严格配置的最大数值孔径。该机结合了曝光投影成像工具、先进的光学元件和选择的光源,提供多层次的光能强度。ASML 90S利用模式识别算法将光能输出与每个设备级别的投影模式相匹配。这大大提高了特征的准确性和可重复性。该资产采用高速曝光算法进行设计,该算法允许较短的曝光时间和较快的运行速度。这可以提高过程的可靠性和优化。该模型旨在对大小特征尺寸进行高效、准确的处理。它还为关键层提供了可重复的过程。这对于半导体工业创造错综复杂的细间距特征极为重要。90S非常用户友好,具有直观的图形用户界面,并获得了认证系统的认证。它具有操作员和设备保护的综合安全功能。综上所述,ASML/SVG 90S是一种高精度成像和光能组合设备,具有卓越的精度和特征尺寸可重现性。它结合了先进的光学装配元件和一个过程算法,以准确和高效地创建复杂的模式。它具有直观的控制和安全功能,可确保可靠和安全的操作。这种光致抗蚀剂系统是半导体工业的宝贵资产。
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