二手 ASML XT 1900Gi #9298751 待售

ASML XT 1900Gi是由半导体行业领先的光刻设备供应商ASML开发的光刻设备。该系统是一种光刻工具，用于半导体器件制造工艺，在半导体晶片上创建图样。它基于深层紫外线光刻单元，用于在晶圆上创建高精度图桉。该机器采用电子束曝光源和水星弧光源。该工具的曝光源具有广泛的波长范围-从147 nm到193 nm,具体取决于应用程序。曝光源还具有可调节的激光快门和标线参数。该资产配备了先进的光学模型，将光学设计与分焦技术相结合。该设备具有最先进的晶片卡盘，旨在减少颗粒污染和减少光学降解。该系统的光致抗蚀剂处理由一个先进的控制器控制，它可以精确控制过程的一致性和精确度。该装置与各种化学物质兼容，支持溶剂和干蚀刻工艺。除此之外，该机还能处理包括ArF、KrF和I-line在内的多种光敏材料。该工具还可以用作曝光工具，因为它具有多通道、高分辨率的晶圆步进器。步进器具有高分辨率直线电机和快速轴补偿技术.此外，资产还配备了一个大型卡盘，能够处理最大600毫米尺寸的基板。该模型的高级自动化功能为管理生产运行提供了高效可靠的解决方桉。它与ASML Automation Server集成,使用户能够轻松管理和优化生产过程,以及监控和控制位于中心位置的所有生产运行。除了设备的自动化能力外，该系统还配备了一个化学输送装置，允许控制化学物质输送到接触源进行蚀刻、抵抗和清洁过程。机器还配备了样品管理工具，为样品处理提供了高效的工作流程。总体而言，ASML XT:1900GI光刻资产是光刻应用的一种强大而可靠的曝光工具。它提供了高度的过程准确性、自动化能力和灵活性。该模型是在晶圆上创建高精度半导体图样的经济高效的解决方桉。