二手 AXCELIS / FUSION R850 #9134042 待售

AXCELIS/FUSION R850是半导体工业中用来在基板上产生电路图样的光阻设备。它是现有的最先进的抵抗带工具,为推动制造创新和性能提供了高度通用的平台。FUSION R850利用先进的光刻技术和蚀刻工具集来实现多种材料的抗剥离应用。它具有溷合开环/闭环控制系统，以适应复杂的流程流。Open-Loop Control算法利用预测控制算法来补偿晶片对晶片的光敏曝光和蚀刻性能变化,从而使用户可以更好地控制过程流。闭环控制单元可通过实时反馈实现现场层对层计量,以确保可重复性和精确的图像分辨率。AXCELIS R850机的核心是FUSION专有的Open Process Champion Technology。此软件驱动的分析工具提供了对流程数据和趋势的实时分析,可用于完善配方和缩短周期时间。这种在工艺优化中的灵活性为更高的产量和更大的阻抗带工艺流程控制铺平了道路。R850工具支持各种光敏材料。该资产能够处理用于生产功能高达20纳米的半导体器件的微米级微光刻工艺。此外，它还采用先进的颗粒去除策略和自动抗剥离缺陷检测，提供了最优收率。这种精密的光刻胶模型旨在降低成本，改善工艺流程，提高产量。通过优化配方,AXCELIS/FUSION R850设备可帮助制造商更高效地生产半导体器件,同时提高最终产品的质量。