二手 AXCELIS / FUSION R850 #9144806 待售

AXCELIS/FUSION R850是一种用于光刻工艺的高性能光刻设备。该系统结合了多项功能,为关键光刻应用（如高级逻辑、内存和显示应用程序）提供经济高效、可靠且可重复的结果。它旨在满足晶圆处理最苛刻的全球市场要求，其易于使用的图形用户界面为研究、工程和生产人员提供了优化所需设备特性所需的信息。FUSION R850的特点是具有高频氙气填充灯、快速TTL曝光控制、卓越的高精度加工光学器件以及先进的环境控制设计，使用户能够精确调整设备。这些组件结合起来，提供了一台高精度的光刻机床，在1k λ面罩上具有5.1微米的高密度分辨率能力，总刀具均匀度在0.5%或更低。该资产还为高级IC设计提供高对比度成像，并具有广泛的镜头功能，包括接触光刻和单层闸门图桉等专门工艺。此外,该模型还集成了自动端点检测和晶片加载功能,可最大程度地减少用户干预,并实现高达30%的生产吞吐量增长。其先进的曝光控制设备包括一个可选的动态GPSM模块，允许用户实时精确管理系统参数，从而在结果中实现最高的可重复性。为了确保处理晶片时的最大效率，AXCELIS R850有一个可选的Loadlock，允许用户在编程前在单元中传输和存储多达十个晶片盒带，允许连续操作而无需操作员干预。此外,该机器还具有热插拔盒式磁带机制,使操作员能够在工具运行时使用晶片切换盒式磁带。资产与PCS Process Planning Software的兼容性确保了与R850结合使用时的最佳设备特性和生产收益。这些特点，加上其可靠性和成本效益，使得AXCELIS/FUSION R850光刻胶模型成为许多需要精确光刻结果和高质量产量的行业专业人士的选择。其卓越的功能确保其用户对快速变化的全球IC市场的要求做好充分的准备。