二手 BREWER SCIENCE 200X #9400327 待售

BREWER SCIENCE 200X是一种晶圆加工光刻设备，旨在提供改进的工艺控制优化、低排泄率和提高产量。光致抗蚀剂是一种光敏材料，用于制造微晶片等器件。200X系统可用于通过光掩模曝光光刻胶和开发晶片以创建所需的图样。BREWER SCIENCE 200X光致抗蚀剂单元包括几个组件。其中包括顶板、底板、曝光头和光源。顶板上有光掩模，底板上装有光刻胶。曝光头由光学器件组成，这些光学器件的设计目的是将所需的光图样精确地聚焦到光致抗蚀剂上。光源是波长在197 nm和248 nm范围内的高强度光源。200X机器可用于绘制具有多种特性的高精度光刻胶图样。该工具旨在保证长期、可靠和可重复的过程控制。它特别设计为能够处理具有小型功能（如高级集成电路所需的功能）的光掩码。BREWER SCIENCE 200X还提供先进的过程控制和优化工具。其中包括一个过程控制器，用于监测和管理暴露过程以及晶圆的水冷、预烘烤和后烘烤等过程。其他工具可用于实时监测光刻涂层厚度和图像对比度以及收集工艺数据。此外,200X光刻胶资产还提供了一个用户友好的基于PC的软件界面。这允许用户远程访问和控制模型,包括调整曝光和流程参数的能力。该设备还可与自动视力检查系统结合使用，允许自动检查光刻胶图像，以便检查图样和检测缺陷。总体而言，BREWER SCIENCE 200X光敏装置为晶片加工提供了有效的工具，改进了工艺控制优化，降低了排便率，提高了产量。它提供了先进的过程控制和优化以及用户友好的基于PC的软件界面。该机非常适合设计具有多种特点的高精度光刻胶。