二手 BREWER SCIENCE Apogee bake FL #293659674 待售

BREWER SCIENCE Apogee bake FL是一款最先进的光电抗蚀剂设备，设计用于薄膜抗蚀剂系统的部署。该系统适用于高容量的光刻需要，允许快速、可靠和可重复的过程。该单元的工作原理是同时控制对光刻胶施加的自旋速度和加工时间，然后在晶片表面上烘烤抗蚀层。该机采用独特的"自旋烘烤"方法，创造出均匀可靠的涂层。这种方法涉及基于微调的涂层，然后在封闭环境中进行高精度烘烤。采用这种方法，将抗蚀剂以恒定流量和无挥发性有机化合物的环境应用于晶片。使用精确加热元件和传感器可实现高精度烘烤。该工具能够准确监测温度和时间，确保热量分布均匀。烘焙室的尺寸经过优化,可均匀分布高达230°C的温度,从而缩短烘烤时间。Apogee bake FL还具有高级自动化软件,使用户能够创建自动化配方、处理文件和控制参数,以根据特定需求对资产进行微调。用户将能够对子系统进行编程，以优化其结果，如带状疱疹送料机的速度和时间、旋转器的停留时间、渗透室的速度、温度设定点等参数。此外,该型号还配备了一系列板载加工配方。除了工艺自动化之外，这些设备还具有若干安全和环境保护功能，如温度的自我监测、低化学品排放和高效节能技术。这确保了工作场所的安全和环保环境。BREWER SCIENCE Apogee bake FL是一款先进高效的光刻系统，旨在满足大容量光刻需求。它提供均匀的涂层、精确的温度控制、自动化的配方以及一系列的安全和环境特性。利用该单元，用户可以获得可重复和可靠的结果，确保他们在众多光刻应用中的成功。