二手 BREWER SCIENCE Apogee spinner FL #293651589 待售

The Brewe Science BREWER SCIENCE Apogee spinner FL is a photoresist equipment designed for industry spinner lithography process.它是一种经济高效、频率控制的光敏涂层系统，能够涂覆直径从4英寸到12英寸不等的基板。该单元设有一个或两个配电室，每个配电室可同时分配熔融的光致抗蚀剂和各种液体或溷合物，用于自旋涂层，最多四个基板。这允许在基板的整个表面积上应用厚度均匀的光致抗蚀剂，从而减少了与传统自旋抗蚀剂相关的时间和成本。光刻机由一个主轴组成，位于旋转基板的正下方。主轴由一个频率控制的电动机驱动，该电动机连接到一个不锈钢软管上，该软管将光致抗蚀剂带到基板上。软管末端装有喷头状喷嘴，精确分配熔融的光刻胶。熔融的光致抗蚀剂释放在基板的正上方，并通过离心力推向表面。这会在基板的整个表面积上形成一个均匀的光致抗蚀剂层。高强度红外（IR）灯安装在主轴底部，用于固化在基板上的光刻胶。红外灯由外部电源供电，通常是电源逆变器，为灯提供启动固化过程所需的电源。此外，旋转器还配备了温度控制器，精确调节熔融光刻胶的温度，以确保精确的固化效果。光致抗蚀剂工具设计方便用户，易于操作，需要最少的培训和校准。该资产具有直观的用户界面和各种显示选项,用于监控流程并确保最佳性能。此外,该模型还可以根据每个客户的独特需求和要求量身定制,使其成为工业微调光刻工艺中用途极为广泛且经济实惠的选项。