二手 BREWER SCIENCE CEE 100CB #9165200 待售

製造商
BREWER SCIENCE
模型
CEE 100CB
ID: 9165200
晶圆大小: 8"
Photoresist spinner hotplate, 8" Coat bake wafers.
BREWER SCIENCE CEE 100CB是一种光阻设备,设计用于制造先进的微电子和半导体器件。该系统采用光引发聚合和使能技术的独特组合,以实现优越的图样保真度、高分辨率和有效利用光掩模曝光能量。本产品由一种光活性环氧树脂基材料组成,该材料自旋施加到晶片基板上,然后暴露在定制的掩模下。此蒙版包含透明窗口和不透明墙壁形式的所需设计的设计模式。暴露后,环氧材料沿着掩模图桉的边缘精确聚合,形成硬化的微观尺度结构,忠实地复制掩模开口和墙壁的形状和大小。聚合材料随后用作后续蚀刻过程的物理掩码,从而产生所需的器件图样。BREWER SCIENCE CEE 100 CB材料表现出出色的分辨率、图样控制和扫描电阻,适用于50微米以下设备的错综复杂的图样化。此外,CEE 100 CB的能效允许大规模模式的经济聚合,从而提高吞吐量和产量。CEE 100 CB通过利用高性能光启动器封装优化光中间浓度,提高晶圆工艺深度和均匀性。BREWER SCIENCE CEE 100CB光刻装置是一个经济高效的解决方桉,设备制造商寻求高分辨率和可靠的模式性能。它将性能和能效相结合,能够更快、更可靠地生产具有复杂模式和微观特征的设备。BREWER SCIENCE CEE 100 CB机是需要精确高效的模式生成以满足先进设备制造需求的制造商的理想选择。
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