二手 BREWER SCIENCE CEE 200 #293765607 待售

BREWER SCIENCE CEE 200
製造商
BREWER SCIENCE
模型
CEE 200
ID: 293765607
晶圆大小: 8"
Spin coater, 8".
BREWER SCIENCE CEE 200是一种工业标准的非沉积光刻设备,用于半导体晶圆的制造。该系统由两部分组成;光刻剂处理器和湿式工作站。光阻处理器由双壁圆柱形腔室组成,内部表面为石英玻璃,用于扩散加热。紫外线曝光单元位于中心,能够曝光宽度低至4微米的特征。光刻胶处理器是可调的,允许针对特定光刻胶优化掩模步进程序。湿站用于开发和冲洗循环。可以为特定应用程序配置各种模块。它利用液体和自旋涂层技术来配制和应用光致抗蚀剂。湿站还配备了真空模块,能够提高抗粘性和增强均匀性。湿站的运输机器允许晶圆转移,包括模块之间的运输。CEE 200工具提供多种应用。它非常适合IC制造、薄膜沉积、电路调试、平面化和光刻工艺。资产是完全自动化的,可以配置各种功能以满足特定的晶圆制造需求。它对光波长高度敏感,在曝光时提供极好的对准。BREWER SCIENCE CEE 200还提供曝光时间的精确控制,分辨率为0.1 µm。此外,CEE 200提供高精度的操作和洁净室兼容性,使其成为开发新半导体技术的可靠工具。它还为延长使用寿命而设计,具有先进的功能,可实现维护和地板维修。该模型在包括16纳米和10纳米光刻在内的各种坡道应用中也被证明是可靠的。总体而言,BREWER SCIENCE CEE 200设备是一款先进的光刻处理器,为各种半导体制造任务提供卓越的性能。它具有高度精确的功能,使用寿命长,是新兴半导体技术不可或缺的工具。
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