二手 BREWER SCIENCE CEE 3000 #9253480 待售
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BREWER SCIENCE CEE 3000是一款下一代的超高分辨率光电抗蚀剂设备，设计用于开发高端的半导体应用。该系统由一个抗蚀剂配电台、化学品供应和输送模块、校准站和一个强大的光源组成。抗蚀剂配电台利用SiroccoHapTec专利的抗蚀剂配电技术，在具有小特性的半导体晶片上安全准确地放置光致抗蚀剂。这确保了晶片的精确呈现与强大的光源对准和成像。化学品供应和交付模块的设计是为了提供一致和精确的光抗蚀剂和开发人员的供应和交付。校准站配备独特的EasyCal软件，允许精确的抗蚀性校准，从而实现出色的分辨率和模式传递。液晶屏显示器用于精确控制曝光时间和强度的光的抗蚀剂图样。它还提供简单的图形用户界面来控制晶圆曝光。强大的光源用于光刻，能够产生强烈、均匀的光。此光源能够为高级功能尺寸提供高容量吞吐量,并提供巨大的曝光时间灵活性,以满足各种工艺需求。CEE 3000被设计为一种先进的、易于使用的光刻装置，它简化了光刻加工，使先进的半导体生产成为可能。这台机器非常适合使用微电子材料、薄膜材料和半导体。该工具的精确抗成像功能、精确校准和强大的光源,使用户能够快速、轻松地生成复杂和复杂的图案。
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