二手 BREWER SCIENCE CEE 4000 #293745108 待售
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BREWER SCIENCE CEE 4000是一种最先进的光刻设备,其设计目的是在各种材料上实现精确和高质量的图样。其核心技术利用电子束(e-beam)光刻,使得可以在石英、玻璃或硅等可重复使用的基板上以光刻方式曝光图样。该系统具有独特的设计,基于其先进的电子光学和光刻开发装置。BREWER SCIENCE 4000的特色是电子光束枪由独特的磁铁-椭圆形枪结构提供动力。这允许一个圆形的光束,产生一个低电流电子束,能够高精度的图样。该单元还配备了一个多级模式收集器,能够以非常精细的线宽进行模式化,这对于小型技术如MEMS(微机电系统)是必不可少的。该机器能够暴露各种光刻胶,包括有机和无机的。它还具有控制光刻胶流动和挥发的双级加热工具,以及最大限度地从电子束向基板能量传递的三级同心室设计。这使资产能够产生极细的线条分辨率和高光抗蚀剂再现质量。总体而言,CEE 4000光刻胶模型是可重复使用基板上复杂微电路高质量阵列的理想选择。其先进的特性提供了卓越的性能和可靠的光刻工艺,使其成为那些需要精确度和可靠性的人的理想选择。
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