二手 BREWER SCIENCE CEE C100 #9192231 待售

BREWER SCIENCE CEE C100（Chemically Enhanced Etching）是一种光刻设备，用于支持微加工过程中的蚀刻特征。该系统使用独特的工艺将树脂基抗蚀剂粘合到被蚀刻的材料上。CEE C100装置采用了专门设计的反应性中间体前体，以改善抗蚀剂与基材的结合，而不是像传统的光致抗蚀剂那样依赖膜的绝对化学附着。BREWER SCIENCE CEE C100机的设计是为了实现传统光刻胶的功能，同时增加了更好的抗撕裂性能、相对于基板的附着力提高以及卓越的化学蚀刻性能。更好的抗蚀剂附着在基板上，可以提高蚀刻窗的精度，提高蚀刻特征的分辨率。要开始这一过程，材料表面准备最大限度地发挥它与光敏层之间的化学相互作用。对表面进行脱脂后，应用专有前体，然后允许与表面发生反应。这种反应有助于将抗蚀层牢固地粘合到基板上，为蚀刻特征创造理想的层。然后,光致抗蚀剂层以所需的形状暴露于阵列光源中。裸露的区域会变成化学惰性和溶解性，不受蚀刻化学品的影响，而未暴露的区域仍会受到蚀刻介质的影响。然后允许蚀刻过程进入所需特征的深度和形状。蚀刻过程完成后，剩余的光刻胶层被剥离基板以完成工作特征。CEE C100工具提供了高达20倍的改进，从传统的抗蚀剂蚀刻阻力，提高蚀刻窗口精度和清洁功能被蚀刻。总体而言，BREWER SCIENCE CEE C100资产旨在提高光刻剂的蚀刻精度、分辨率、耐化学蚀刻性、附着力和自平整性能。提高的蚀刻窗精度、更均匀的蚀刻深度和更高的产量，使得该模型成为那些希望提高精确度和可重复性以满足其微观制造需求的人的理想选择。