二手 BUHLER / LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION #293771029 待售
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ID: 293771029
Optical coating machine
Stainless steel chamber
Optical monitoring system
(2) Polarization filters
Water cooled
Water distribution system (Warm / Cold)
Calorimetric water flow sensor
Electrical cabinet
Graphical User Interface (GUI)
TFT Touch screen, 19"
Uninterruptible Power Supply (UPS)
Remote service system
Material: Stainless steel
Vacuum pump
High vacuum flange size: DN500
Pumping capacity: 300 m³/h
Final pressure: 5x10-3 mbar
Cryo pump type: Coolvac 10000 iCL
Compressor unit type: Coolpak CP 6000
Gas flow range: 1.6-300 SCCM
LION 300 RF-Plasma source
Line voltage: 3 AC 400 V / 230 V
Frequency: 50 Hz
Substrate drive:
Adjustable speed range: 3-33 1/min
Rated power: 25 kW
Substrate load: 250 kg
Substrate heater:
Heater power: 52 kW
Temperature: 300°C
Chamber:
Inner diameter: 350 mm
Inner height: 1550 mm
Features:
Manual mode (Preparation service and maintenance) / Automatic mode (Machine / Process control)
Electron beam evaporator:
Deflection: 270°
Power: 6 kW
Crucible diameter: 320 mm
Floor space: 35 m²
Power supply: 10 kW, 13156 MHz, 1000 mA, AC 0-6 V.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION是为先进半导体制造应用而设计的高性能光阻设备。该系统提供精确可靠的光阻处理能力,使其成为制造集成电路、MEMS设备和其他微电子元件的理想解决方桉。BUHLER Syrus Pro 1350 LION单元的核心是其先进的光刻技术，使光刻石层在半导体基板上实现精确的图样化。该机具有高分辨率的掩模对准器和亚微米的对准精度,能够以卓越的精度创建复杂和复杂的阵列。这种能力对于实现现代半导体制造工艺所需的紧密尺寸公差至关重要。LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION工具的主要特点之一是它能够容纳各种光刻材料,包括正负色调抗蚀剂。这种灵活性使半导体制造商能够根据自己的特定工艺要求选择最合适的光刻胶，优化器件性能和产量。该资产与各种光刻胶配方的兼容性也增强了其在各种制造场景中的多功能性和适用性。Syrus Pro 1350 LION车型配备了先进的紫外线曝光设备，具有高强度光源和精确的曝光控制机制。这样可以确保在基板上均匀和一致地暴露光刻胶层，从而最大限度地减少图样质量和尺寸精度的变化。可以对系统的曝光参数进行微调，以满足不同光刻材料的特定加工要求，实现高可重复性的最佳图样化结果。除了光刻功能外,BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION单元还提供了一系列辅助功能,以支持高效的光敏处理。其中包括用于自动底物装卸的集成晶圆处理机器人技术，以及用于编程和监控过程参数的综合用户界面。该机器的用户友好设计和直观操作使半导体制造商能够在最小程度的培训和监督下轻松设置和执行光刻胶处理序列。BUHLER Syrus Pro 1350 LION工具专为高通量生产环境而设计,具有快速的周期时间和高效的工作流管理功能。资产坚固耐用的结构和可靠的性能确保了连续运行和长期稳定,最大限度地减少了停机时间,并最大限度地提高了生产效率。它的模块化设计还允许轻松升级和定制选项,以适应半导体制造中不断变化的工艺要求和技术进步。总体而言,LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION光刻胶模型为寻求光刻胶处理方面无与伦比的精度、可靠性和多功能性的半导体制造商提供了最先进的解决方桉。Syrus Pro 1350 LION设备凭借其先进的光刻技术、与多种光刻材料的兼容性以及全面的自动化功能,为实现高质量、性能卓越的半导体器件提供了全面的解决方桉。
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