二手 BUHLER / LEYBOLD OPTICS UCS 40 #9363015 待售

BUHLER/LEYBOLD OPTICS UCS 40是一种拟用于半导体工业的光刻胶设备。该系统使用光刻技术在基板上创建图样,并具有高分辨率的SEMI Standard BSIM3v3模型以实现精度。该单元配备了先进的曝光单元、超高精度的机电级，以及氙灯光源。在操作的暴露阶段，上部基板暴露于在面膜上复制的图样。蒙版由激光照射，激光调制到适当的强度并聚焦到基板上。曝光单元确保激光达到最大强度，并且曝光在整个基板上均匀。曝光后，图像从面膜转移到硅基抗蚀剂上，在进入开发阶段前分布在基板上。开发阶段设计为根据面罩图样增加或减少特定的暴露抗性区域。这是通过帮助在需要暴露或开发的区域保持均匀的抗蚀剂平衡的棉签晶片来完成的。利用机电级进一步提高了开发精度，允许在微米水平上进行精确操作。光致抗蚀剂过程的最后阶段是光致抗蚀剂去除阶段。该阶段利用酸性溶液溶解任何暴露或显影的抗蚀剂。仔细监测环境温度，以保持最佳反应速度，从而获得最高质量的结果。BUHLER UCS 40是一种可靠的光刻机，经过业界专业人士的测试，以提供最准确、最优质的结果。该工具可从各种供应商处获得，其设计和特点使其易于适应任何半导体生产过程。