二手 C&D SEMI 2-T:I\8838\8844\88SMC\8836\I #9177167 待售
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ID: 9177167
晶圆大小: 2"-3"
Automated photoresist track coater, 2"-3"
(2) Tracks
Cassette to cassette.
C&D SEMI2-T: I\8838\8844\88 SMC\8836\I"光刻"设备是一种用于生产高精度电子元件的自动涂层应用系统。它利用各种独特的技术和特点,以确保在多层和广泛的表面上均匀、高质量的涂层。该装置使用先进的离子束辅助沉积(IBAD)技术来制造均匀、一致的涂层。该机器利用一个重离子束,该重离子束的目标是加工室中元件的镜面末端,它创建了一个原子网格,为均匀的涂层过程提供了比其他方法更精细的控制平台。IBAD技术还在涂层和基板之间建立了更牢固的联系-这对于确保产品在制造过程中的成功至关重要。该工具还采用了自旋投票冲洗工艺,旨在确保涂层均匀分布在全线。自旋投票工艺非常适合与光致抗蚀剂一起使用,因为它能精确控制沉积速度,从而使涂层尽可能的一致和均匀。C&D SEMI资产还具有一个多源粒子模拟室,用于创建设计的高度精确的晶圆级复制品。粒子模拟室利用先进的粒子跟踪模型,精确模拟了各种各样的图桉、形状和角度。这样可以生产具有更好重复精度和更高产品均匀性的高度精确的元件。此外,该设备还集成了使用自动涂层和后期制作工艺,如溅射蚀刻、曝光后烘烤、去面等。自动化系统由酸浴、溶剂室和热回流室组成,可用于快速准确地完成部件。这些过程提供了改进的可重复性和统一性,并减少了产品开发所需的时间。C&D SEMI 2-T: I\8838\8844\88 SMC\8836\I单元设计为在涂抹光刻涂层时提供尽可能高的精度和均匀性。凭借其先进的IBAD技术、旋转投票冲洗过程和自动化的后期生产过程,此光刻机是任何组织生产过程中必不可少的一部分。
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