二手 C&D SEMI 2-TRK:8626/36/36/I #9177294 待售

C&D SEMI 2-TRK:8626/36/36/I是一种适应性强的光阻设备,专为精确的材料处理应用而设计,需要精确且可重复的结果。该系统设计用于多种处理步骤中的多种光刻材料，包括薄膜沉积、光刻、蚀刻和离子植入。该单元由两个轨道组成，一个用于光刻，另一个用于蚀刻和离子植入，每个轨道都可以配置为容纳广泛的底物和材料。光刻轨迹与标准正负光刻胶兼具，以及各种预曝光和后曝光的抗蚀剂技术，使用户在对特征尺寸小至6.5微米的结构成像上达到针点精度。蚀刻/离子植入轨迹能够以亚微米精度处理材料，具有精确控制蚀刻速率和定向离子植入的能力。机器可以配置额外的组件和附件，例如用于增强蚀刻性能的原位压力室，以及用于进一步控制蚀刻参数的等离子体发生器。结合先进的光刻技术和蚀刻技术，C&D SEMI 2-TRK:8626/36/36/I为深亚微米材料加工提供了可靠、可重复的工艺。其应用范围从半导体器件制造到精密光学系统。