二手 C&D SEMI P-8000 #9153359 待售

CD SEMI C&D SEMI P-8000光刻设备是一种在半导体基板上制造先进结构的高性能光刻系统。该装置能够在硅片上沉积和去除高精度、薄薄的光刻胶层，提供出色的蚀刻选择性和与各种基板的兼容性。它是为最佳精度和吞吐量而设计的,能够每小时处理多达53个晶圆,阵列精度为+/-1.5 μ m。机器由真空室、常规步进光学工具、石英碗、基板支架和基板级组成。光刻光学资产包括光束分离器和冷凝器透镜，设计用于提供均匀的基板照明。石英碗在沉积到基材上之前用于容纳和固定光刻胶。基板架装有加热器，用于控制基板在光刻沉积过程中的温度。基板级由高分辨率步进电机驱动，允许在光刻过程中精确放置基板。C&D SEMI P8000配备了单模环形二极管激光器（SMADL），用于精确控制用于曝光光刻胶的光的波长。SMADL激光器是专门为保证光刻图桉的最高精度和质量而设计的。此外，P 8000的固态设计带来了很高的可靠性，使其能够承受恶劣工业环境的严酷。该型号配备了多种功能，可帮助提高性能和降低生产成本。例如，该设备配备了一个自动切膜工具，可以精确选择薄膜的长度和位置，从而优化基板的利用率。此外,系统还采用了先进的光阻处理温度控制单元,有助于确保一致的阵列性能。最后，P8000与广泛的底物相容，包括砷化氙、碳化硅和金刚石。综上所述，CD SEMI C&D SEMI P 8000光刻机是制造先进微米级结构的一种可靠高效的光刻工具。它提供卓越的精确度和吞吐量,与各种基板兼容,并配备高级功能,以帮助降低生产成本和提高性能。