二手 CALI-TECH CT-605D #9236280 待售

CALI-TECH CT-605D光敏设备是一种多功能设备，设计用于光敏材料的精确成像和去除。光致抗蚀剂是一种通过应用不同数量的光照从一种状态转移到另一种状态的材料。该系统提供了精密曝光、开发和干燥相结合的各步骤的精确控制。该单元提供全功能的高功率曝光单元,可实现卓越的成像性能。该机器采用扫描掩模对准电源物镜,具有可变的放大倍率,可提供各种图像场大小和可比的功能尺寸,可达0.12微米。曝光源利用波长为248 nm、持续功率为180 mw的准分子激光器,以传统步进系统的一小部分成本提供卓越的成像性能。该单元还利用通信电缆支持使用多个曝光头，以及各种涂层和开发室，以实现更大的通用性。该工具的模块化使其成为各种应用程序的理想解决方桉。它易于使用的软件控制使得设置和调整不同光刻材料和工艺的参数变得简单。资产还包括一个用于去除未曝光的光刻胶的干燥室，并在光刻胶工艺的所有步骤中将I/O连接到其他设备。模型包括额外的功能，如自动调整掩码和基板之间焦点的自动对焦设备，以及内置的错误检测系统，可以在过程中自动提醒操作员错误。CT-605D光刻装置是一种高度先进、用途广泛、成本效益高的工具,可为所有光刻工序提供精确的控制和可靠的性能。