二手 CALI-TECH CT-608D #9151584 待售

CALI-TECH CT-608D光刻设备是一种先进的高性能蚀刻沉积工具,专为半导体行业的应用而设计。这是非常适合溅射和等离子体蚀刻过程，以及薄膜沉积和抵抗带。该系统具有一个大腔室，它可以容纳各种基板-直径可达6英寸。其垂直设计便于进入室内，便于维护和处理的灵活性。该装置利用先进的质量流控制器来调节工艺气体，并确保精确控制。它还具有创新的等离子体发生器和匹配的网络系统，以优化等离子体生成。CT-608D光刻机设计用于高性能的蚀刻和沉积过程。它配备了精密的光刻工具和控制器，可以准确地定义基板上的几何形状和尺寸。光刻工具可用于透光、曝光、紫外线（UV）辐射和曝光后烘烤，以及深层紫外线抵抗曝光。为确保最佳蚀刻均匀性,该工具使用专有的脉冲电源模块（PPM）。这样可以调节脉冲频率、脉冲宽度和脉冲能量,从而获得最佳结果。CALI-TECH CT-608D Photoresist Asset还包括一个扫描电子显微镜（SEM），可用于监测光刻胶图样的完整性和植入样品表面的离子能量水平。CT-608D光刻胶模型提供了出色的工艺和冷却能力。该设备采用动态喷雾冷却（DSC），为基板的整个表面积提供均匀冷却，同时保持满意的温度轮廓。它的冷却功能允许快速的过程,最短的温度稳定时间,从而提高吞吐量。该系统还包括热辐射屏蔽，以及噪声屏障，以减少低频环境噪声对工艺室的影响。为减少对环境的影响，该装置采用空气和气体循环系统，安全地丢弃多余的材料。CALI-TECH CT-608D光刻机是半导体工业的一个非常强大的工具。其先进的工具特点可实现工艺灵活性和低环境影响，而其精密的光刻和脉冲功率技术则可实现高精度的蚀刻和沉积。利用CT-608D光刻资产，用户可以用最少的时间和精力生产出可靠和高质量的基板。