二手 CALI-TECH CT-608D #9252347 待售

CALI-TECH CT-608D是为先进的基于UV的光刻加工而设计的光刻设备。该系统用于沉积和开发先进的薄膜材料，以创建功能尺寸较小的高性能电路和设备。CT-608D设计用于提供适合研究和工业应用的高分辨率光刻工艺。其核心组件包括曝光单元、开发机器、开发后处理工具以及晶圆处理的自动化资产。曝光模型由波长范围为365nm至395nm的大幅面UV强烈发光二极管（LED）阵列组成。波长范围允许在选择光阻层时具有灵活性，并允许实施多重曝光技术。开发设备采用双级高速湿式开发系统，能够进行光阻开发，同时将光阻温度保持在一定水平以下。这对于在温度必须低于一定阈值才能避免对光阻造成损害的纤薄光阻工艺尤为重要。开发后单元由一个自旋冲洗干燥模块组成。用于在进一步加工前冲洗光刻胶并干燥。自动晶圆处理机提供高度自动化的工作流程，一次最多可处理30个晶圆。它与先进的晶圆传输机器人完全兼容。CALI-TECH CT-608D的性能已在各种实验室和工业环境中得到证明。它能够处理最小特征尺寸为2微米的纤薄光阻层。它可靠高效，是先进光刻工业生产工艺的理想选择。