二手 CALITECH CT-608D #293760256 待售

CALITECH CT-608D是一种最先进的光刻设备,可在各种基材（如硅、金属合金和先进材料）上提供高度精确和可靠的抗蚀性图样。该系统采用最新、最先进的光刻胶切片、成像和开发技术专门设计，以减少颗粒污染，提高光刻的分辨率和准确性。CT-608D在安装在电动晶圆处理站上的8英寸晶圆盒中使用紫外线激光源。激光器用于将光刻胶图样精确地逐层切割到基板上，而计算机控制单元则可确保图样制作过程的准确性。此外,CALITECH CT-608D还配备了一台独特的前置对齐机,可在图样蚀刻到基板上之前将误差降至最低。激光源还能够提供从紫外线到红外线的一系列波长，以支持不同材料的需求。该工具还可以检测和补偿基板中的任何非均匀性，以确保抗蚀剂线被精确绘制和成像。该资产配备了闭环配方控制成像模型，允许用户精确控制曝光时间、激光功率设置和其他成像参数。这为用户提供了将光刻工艺与他们的特定要求和基材类型相匹配的灵活性。该设备采用高分辨率相机和紧凑型光学器件，两者的设计都是为了提高成像过程的分辨率和可重复性。此外,5轴复制器的设计目的是为精细细节提供额外的分辨率,并减少非锐度伪影。相机还配备了一个集成的自动化检查系统，可以检测任何图桉错误或碎片。CT-608D还有一个修补程序驱动程序单元，旨在减少可能导致线键错位的模式分散。此外，该机器还包括一个内置的抗蚀剂开发工具，以便用户无需外部资产即可轻松加载和清洁晶片。这一开发模型包括一个自动去薄能力，从基板表面去除残留的抗蚀剂，这有助于改善纳米加工。CALITECH CT-608D是一种功能强大、可靠、精确度很高的光刻设备,能够持续为各种材料提供最高质量的光刻图样,并为用户提供最苛刻的光刻工艺的自动化和精确成像工艺。