二手 CANON CDS-630 #9269121 待售

CANON CDS-630是为工业用途而设计的先进光刻设备。它结合了最新的现成成像技术和大师制造知识，提供先进的成像能力和准备用于工业应用的抵抗基板。该系统能够处理各种底物类型，包括丙烯酸、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等等。CDS-630利用数字成像装置产生所需的光刻胶图样或图像。这包括一个高分辨率的线性可变色散光谱仪和一个光学偏振显微镜，用于产生基板的可见和紫外线图像，以便进行精确的图桉化。成像机能够产生各种尺寸的图像,从英寸到微米,具体取决于基板和应用要求。为了沉积光致抗蚀剂，CANON CDS-630采用溶胶-凝胶溶液，该溶胶-凝胶溶液被分配到一个溷合良好的容器中，然后通过一个细喷嘴将其注入垂直的线轴腔内。这保证了沉积在基质上的均匀性和图样均匀性。之后，将基板加热到预设温度，并施加真空，以除去可能存在的任何多余的抗蚀剂液体，并产生空气清洗过程。光致抗蚀剂固化后，可以在烘烤后操作，以进一步增强图像。这些包括辐照、洪水暴露和电镀。此后，可以使用蚀刻和光合辅助工艺，以便进一步清洁和制备基板。各种实验室仪器，如旋转涂层、酸性蚀刻器和模具，也可用于人工加工。总体而言，CDS-630光刻工具是工业应用的可靠和能干的成像和处理解决方桉。其先进的成像和阵列处理能力使其成为生产具有高分辨率和均匀性的复杂阵列的理想选择。此外，其广泛的烘烤后操作提供了很大程度的灵活性和定制，允许为特定的应用适当准备各种基材类型。