二手 CANON CDS-630R+ #293796123 待售

CANON CDS 630R+是为满足现代半导体生产需要而设计的先进光刻设备。该系统采用小巧、经济高效的软件包,提供卓越的性能和可靠性。CDS 630R+单元采用双光源设计，采用100 W水银灯和200W氮化​​氙（GaN）灯。这种组合产生紫外线和红外辐射，用于精确抵抗发展。该机包括预热阶段，以确保一致的干燥膜均匀性和可重复发展。刀具的温度控制热板确保施加在晶片上的抗蚀剂的精确均匀性。此外，CANON CDS 630R+资产还包括一个用于实时测量抗蚀剂性能的高分辨率扫描对光谱仪模型。这允许用户监控光刻胶物理和化学性质的变化，以优化生产过程。该设备还利用先进的自动化过程控制（APC）软件，对每批光刻胶的开发周期进行自动化和监测。APC软件有助于减少错误并提高开发过程的一致性。这样可以确保一致的质量和可重复性。该系统由微处理器控制，包括用于实时状态监控的大型数字显示器。可以将设备的所有参数编程到软件中,允许用户从单个控制界面监视整个生产工作流。该机还包括一个集成的脉冲发生器，以提高工艺精度和可重复性。CDS 630R+工具高度可靠，能够满足大多数半导体制造设施的生产需求。凭借其双光源设计、先进的自动化能力和可靠的性能，CANON CDS 630R+光刻胶资产是大批量生产的不错选择。