二手 CANON CDS-650 #9111287 待售

CANON CDS-650是一种用于在半导体上形成薄膜图样的光敏设备。该系统具有优越的光学单元，能够产生具有亚微米精度的高分辨率图样。该机采用了一种基于长波和短波UV灯独特组合的新型光刻解决方桉。CDS-650的最大基板尺寸为300 mmx300mm。该工具使用了一个CeASTAR-300的透镜成像光度掩模对准器和一个1024 x 1024像素的CCD相机，具有10位动态范围，以实现高精度对准光掩模。CANON CDS-650具有同轴LED驱动的定位头,可提供亚微米精度的精确对准。CDS-650采用先进的CANON LEXT OLS 4000激光扫描共聚焦显微镜技术,提供出色的分辨率和模式保真度。资产可达到0.25微米的最小特征尺寸，意味着适合微电子应用。该模型的光敏溶液基于含有高分辨率成像所必需的高反应性光活性化合物（PAC）的试剂。这些PAC被吸附在基板表面，允许光刻胶快速且均匀的照射。CANON CDS-650利用这种独特的工艺来形成分辨率令人印象深刻的薄膜图桉。该设备还具有一些旨在提高用户安全的功能。一个自动晶片加载系统可以方便、安全地处理晶片。安全互锁装置可防止紫外线（UV）暴露在光刻剂处理区域之外。此外，这台机器还配备了一个安全监视器，在紫外线暴露水平超出可接受范围时提醒操作员。为了确保持续高质量的结果，CDS-650利用可编程快门在必要时拒绝紫外线暴露于晶片。这种快门也能最大限度地减少紫外线暴露水平。此外，该工具还包括一个内置的排气设备和一个排气控制模块，以确保危险蒸汽安全排放。总体而言，CANON CDS-650是一种可靠的光阻模型，能够以一流的分辨率和精度形成薄膜图桉。其优越的光学设备、基于试剂的光刻胶溶液以及用户安全特性，使该系统成为要求苛刻的微电子应用的首选。