二手 CETC LXS-1000 #9073952 待售

CETC LXS-1000
製造商
CETC
模型
LXS-1000
ID: 9073952
Wafer dryers.
中国电子技术集团CETC LXS-1000是一种光致抗蚀剂设备,用于在各种基板上绘制接触孔、沟槽和其他特征的图样。该系统包括激光源、集成控制单元、真空室和精密X-Y表。激光源基于Yb-laser,输出能量波为10瓦,脉冲长度为皮秒至纳秒。该激光源能够产生精确控制的激光脉冲,这些脉冲被聚焦在基板上进行图样化。激光控制单元集成到单元中,使用户能够对激光进行编程,以执行所需的模式和配置。它还提供了一个用户界面,使得激光的远程操作,使用户能够快速实时调整脉冲参数。真空室用于在操作过程中精确控制机器的大气,以减少反应时间,保证高通量。这对于光刻胶图样的制作过程尤其重要。工具中LXS-1000 X-Y表提供了在阵列制作过程中基板的高精度定位。它配备了自动驱动器资产,可确保基板定位和对齐的准确性,使用户能够在一次操作中将特征精确地阵列到基板阵列上。这对于对需要多种特征精确定位的大面积基板进行阵列化特别有利。总体而言,中国电子技术集团CETC LXS-1000是一种先进的光刻胶模型,能够在将接触孔、沟槽或其他特征绘制到各种基板上时提供高精度和精确度。它具有集成激光源,强大的激光控制单元,真空室,以及高度精确的X-Y表,可以对基板进行精确定位。该设备能够提供快速、准确和可靠的结果,这对于大批量生产过程至关重要。
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