二手 CETC LXS-800 #9073945 待售

CETC LXS-800是一种高精度光刻设备,旨在支持用于研发、微芯片生产和其他行业的最先进的微加工工艺。它是一个全自动系统，设计用于流程稳定和统一，灵活运行标准和专门流程。它的特点包括一个大的晶片处理区域（最多8英寸）、一个均匀的曝光源、一个标线或重复曝光单元（即使是现场曝光和大面积模式曝光）的选择以及用于缺陷检查的机器视觉。LXS-800台光刻机由高度集成的刀具控制平台提供动力,包括主机计算机、资产级别体系结构和用于监视和控制光刻机模型所有参数的软件。该软件可用于监控单个参数以及设备的整体性能,并可用于学习和了解不同的工艺条件。易于使用的软件还可用于修改配方参数以优化产量和吞吐量的性能。利用系统的多功能腔室设计，用户可以在干湿加工方法之间进行选择，以满足特定的工艺要求。可拆卸的工艺卡带使设备易于根据不同的工艺要求进行重新配置，同时确保工艺步骤之间的最佳环境隔离。CETC LXS-800的设计目的是提供高度可靠的性能,并将过度处理和未充分处理的风险降至最低。精密光刻机能达到更严格的线宽要求，减少光掩模误差。它为特定的工艺要求提供了理想的准确性,并为复杂、高密度或专门的光掩码和光刻工艺提供了卓越的效果。该工具卓越的性能和用户友好的界面使LXS-800成为研发和微芯片生产设施的绝佳选择。可靠的资产和无故障的操作也使得CETC LXS-800一个经济高效的解决光刻需要。