二手 CHEMALUX 100 #9246757 待售

CHEMALUX 100
製造商
CHEMALUX
模型
100
ID: 9246757
Coater system.
CHEMALUX 100是由SAG Associates设计的光阻系统,为开发複杂的集成电路模式提供了统一的平台。它由结合单体和固化剂或引发剂两种主要成分组成。当以特定比例结合时,结合单体和引发剂反应迅速,在暴露于光线后不久就形成硬化膜。这种硬化的薄膜提供了更好的抵御化学攻击和水分的屏障,使100成为半导体应用的理想光刻胶。CHEMALUX 100抵抗光刻步骤中使用的酸和碱,在设备制造过程中提供无与伦比的分辨率。光致抗蚀剂可以根据项目或设备的确切规格进行定制,从而使非常小的特征能够轻松准确地进行图样化和蚀刻。100的主要优点是沉积速度。它在基板上迅速传播,同时提供一层均匀的光致抗蚀剂以抵抗蚀刻和后处理。CHEMALUX 100足够稳定,可以用电子束图案化,允许形成极细的特徵尺寸(小至50 nm)。这提供了卓越的绝缘以及尺寸稳定性。100的可加工性非常好,可以方便地打印、涂覆和成像光刻胶。它的高分辨率使得它能够与广泛的激光和光学成像系统一起使用。其化学性质,加上易用性,使其成为深层蚀刻、高温处理和复杂口罩的理想光致抗蚀剂。综上所述,CHEMALUX 100是一种全面的光刻胶系统,可以根据各种需求量身定制。高分辨率,易于加工,沉积均匀,是各种半导体应用的绝佳选择。它的稳定性和耐化学性是不可能被击败的,使其成为集成电路阵列和器件制造的首选。
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