二手 CHEMALUX 300 #9253608 待售

CHEMALUX 300
製造商
CHEMALUX
模型
300
ID: 9253608
AR Coater system With LEYBOLD hydrophobic coating machine.
CHEMALUX 300是一种光致抗蚀剂设备,允许在多种基材上生产耐化学涂层。该系统由负性抗蚀剂(通常是聚合物材料)组成,并在其上施加正性光致抗蚀剂。300是一个多层单元,先施用负性抗蚀剂,然后将光致抗蚀剂涂在负性层上。光致抗蚀剂是一种感光、光敏的聚合物,只有在暴露于UV-C光谱的辐射下才会发生反应。这允许精确的图样和光刻。CHEMALUX 300光刻机由半水显影剂、化学溶剂和含有光敏化合物的预敏涂层组成。当这种工具暴露在紫外线下,会发生光诱导反应,形成交互抗蚀层。抗蚀层起到"化学屏蔽"的作用,保护下面的底物免受任何反应性化学过程的影响。抗蚀层也为进一步处理提供了绝佳的基础。通过遮蔽基板的某些区域,使用阻光材料,可以产生所需的图样。300具有优异的附着力和耐化学性,是玻璃、金属、硅、金刚石等多种基材的理想选择。它比传统的金属掩蔽技术具有显着的优势,并允许非常精确和复杂的图桉。此外,CHEMALUX 300不受高达200 °C的温度影响,因此可用于广泛的应用,包括蚀刻和沉积。要使用光致抗蚀剂资产,首先用盐酸溶液或溶剂对底物进行敏化处理。这就为光刻胶准备了基材.然后将光致抗蚀剂涂抹并使其干燥。一旦使用了光致抗蚀剂,就会使用曝光光源对基板进行图样绘制。300抗蚀剂模型非常灵敏,可提供非常精确的图案。最后,将基材浸入显影剂溶液中完成工艺。CHEMALUX 300是一款用途非常广泛、可靠的光刻设备。它速度快、效率高、性价比高,提供出色的附着力和耐化学性。由于其对紫外线的高灵敏度,300可以用于多种工艺,包括蚀刻和沉积。光刻胶系统常用于生产半导体器件、平板显示器和光刻元件。
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