二手 CHEMALUX PSR 300 #9253609 待售

CHEMALUX PSR 300是一款设计用于多种应用的高性能光阻设备。光致抗蚀剂是设计用来与光源相互作用的化学系统，以便在各种基板上产生图像图样。这个特殊系统使用的光源通常为450-490 nm波长，并且能够生成最小线宽小于1微米的图像。PSR 300光致抗蚀剂单元分为两个部分：涂层和曝光过程中涉及的组件，以及开发和其他后处理步骤中涉及的组件。涂层和曝光组件包括一个分配单元、一个卷涂层和CAT 500可编程光曝光器。分配单元允许对具有均匀一致的光刻胶层的涂层基板进行精确的流量控制。滚动涂层然后将光刻胶涂在均匀的薄膜中。然后，CAT 500可编程光曝光器利用可编程激光将光照射到光刻胶上，以特定的图样将基板曝光。该机的开发和后处理部件包括冲洗站、硫酸等离子体剥离器和显影罐。冲洗站确保在处理基板之前对基板进行清洁。硫酸等离子体剥离器用于去除底物中的光致抗蚀层。最后，显影剂罐用于溶解基板上任何残留的光致抗蚀剂，完成成像过程。CHEMALUX PSR 300光抗蚀剂工具为用户提供一致的图像制作，高度精确的图像图样，以及广泛的可以曝光的基板。这一资产能够产生多种应用，如微电子、医疗设备和印刷电路。此外，这款机型简化的操作控制，方便用户快速起床。