二手 CHRIST Epsilon 2-4 LSC Plus Eco #293654509 待售
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CHRIST Epsilon 2-4 LSC Plus eco是一款提供高端性能、卓越灵活性和可靠性的光刻系统。该设备基于多频激光源,提供高对比度图像和宽波长范围(从395纳米到560纳米不等)。该系统还包括一个自动制动装置,允许将光束精确地引导到基板上,以及一个先进的温度控制机器,确保在整个光致抗蚀剂工具中均匀加热。该资产的特点包括多频激光光源,使其能够实现高分辨率成像,以及在广泛的波长范围内持续曝光。设备随附的机制包括一个电动级和一个数字控制器来访问存储的图像。它处理液体和基于凝胶的光刻胶的能力提供了一个明显的优势比竞争。该模型配备了强大的10位曝光算法和低光学设备,以消除衍射。该光学器件支持的功率可达420 W,而Neodymium-YAG和YaraFiber的功率可达50 W,脉冲宽度可达2 us。它可以在可调厚度的基板上实现多达4个排列的掩蔽元件,以微调对阵列精度的控制。系统的高速数据采集路径允许快速曝光时间下降到亚毫秒范围。Epsilon 2-4 LSC Plus eco兼容多种光刻胶类型,可安全地用于包括玻璃、铜和有机材料在内的基板上。该装置还包括一个预烘烤站,其温度区最多为3个,以消除暴露前基板中的任何残留水分。通过网络工作能力和模块化平台,计算机的多个控制系统可确保在其联网子系统中快速共享数据。CHRIST Epsilon 2-4 LSC Plus eco能够实现高分辨率成像、高对比度图像和快速曝光时间,使其能够生产出高度细节和精确度的设备。它的高吞吐量和快速的过程时间使它成为许多类型的企业和行业的理想工具。得益于其节能设计,资产还减少了高端生产所需的能源量。
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