二手 CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 #9267665 待售

TECHNOLOGIES CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Equipment是一种旨在提高微电子元件制造中所用光刻工艺的精确度和精确度的系统。该装置将高分辨率光学成像机与先进的原位开发工具结合在一起，利用沉积和湿蚀技术创造出厚度小至250 nm的高精度特征。8600 Photoresist Asset利用多层成像技术,在已开发的特征和底层基板之间实现高对比度。TECHNOLOGIES CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Model由一个高解析度的光学成像设备组成，用于精确的图样放置和成它在光刻胶特徵与底层基板之间产生高度的对比度。该系统包括一个用于特征开发过程中精确曝光的高分辨率运动控制单元。单层成像可用于多层掩蔽技术。8600光刻机采用先进的原位沉积技术优化显影室内的光刻特性。这种沉积技术包括两个阶段，一个阶段是光致抗蚀剂的后显影沉积，然后是通量驱动的蚀刻，以创建高精度的特征。使用湿化学蚀刻剂和反应性源气体的组合进行蚀刻，以创建所需的光致抗蚀剂特征几何形状。TECHNOLOGIES CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Tool还包括用于光刻优化和过程自动化的高级软件工具。它包含多个用户界面选项,包括图形、基于文本和基于命令行的程序界面,以便快速轻松地进行设置和流程修改。此外,该资产还利用智能自动化模型进行统一的特征开发,以解决环境中各种不同的情况。8600光刻设备提供卓越的精度和精确度与快速周转时间。对于希望在光刻过程中最大限度地提高吞吐量和可靠性的制造商来说,这是一个极好的选择。这种高度自动化的系统可用于生产具有卓越均匀性和均匀线宽的高分辨率图桉。CLASS ONE TECHNOLOGIES CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Unit利用其自动化软件工具简化了光刻设置和操作。