二手 CLASS ONE TECHNOLOGIES Solstice SLT #293632398 待售

第一类技术冬至SLT光刻设备是下一代干膜光刻系统,旨在满足当今半导体和集成电路行业的需求。Solstice SLT是一种自动化的超高分辨率激光成像装置，能够在基板上精确地产生一系列电路几何形状。TECHNOLOGIES Solstice SLT的主要优点是能够准确地产生细线图桉而不需要传统的光掩蔽原型。Solstice SLT是由几个不同的组件组成的自动化机器。它包括一个基室、一个激光成像投影仪、计算机控制系统和一个专门的室。基室包含光刻材料，一个要打印的基板，以及一个有自己成像硬件的机械臂。激光投影工具用于在基板上投射精细图桉。计算机控制系统使资产适应各种基板和工艺参数，使其能够以极高的精度产生高达1.2 µm的特征大小的图样。专门的腔室使用了一系列的光谱能力和特征，如宽动态范围成像和高分辨率聚焦，以确保激光模型投射的图样被精确打印到基板上。它还具有精确测量和监测包括器件厚度、光分布强度和激光焦距等参数的能力。此外，TECHNOLOGIES Solstice SLT包括一系列精确的运动控制设置，用于精确聚焦、高速扫描和漂移控制；使实现一致的产品输出成为可能。高速功能有助于样品与样品之间的一致性,并确保产品在样品上的数千行内。Solstice SLT是在一系列先进基板上生产电路和集成设备的通用解决方桉。它保证了高产量和低周转时间，它的小尺寸使得它非常适合各种设置。其激光投影设备能够产生尺寸可达1.2 µm的图样，使其成为一个高度可靠和可靠的光刻系统。