二手 CLEAN AIR PRODUCTS CAP1411-636-36H #293592370 待售

CLEAN AIR PRODUCTS CAP1411-636-36H光刻设备是创建光掩模和其他光刻项目的先进而高效的工具。它基于自上而下的图样化方法，并利用专门为此应用开发的精密光刻胶。界面直观易用，可快速、精确设置光刻胶应用参数。该系统构建在一个六点单模具平台上，具有高效的三爪卡盘，用于可靠的模具卡盘和定位。该装置采用近激光光斑大小的二极管阵列照明光源和集成集成光束轮廓发生器，以实现最佳剂量均匀性。一个浸入式LED控制器和一个多级原位烘烤室提供可靠和可重复的性能。此外,可调节的曝光时间和高级曝光控制参数允许对应用程序进行微调。内置的抗蚀剂单元配备了单独的级温控抗蚀剂单元，允许光电抗蚀剂的温控应用。此外，抗蚀剂装置还配有内置的旋转涂层，可形成均匀的光刻胶层。该机可以处理一系列尺寸可达6英寸的基板，高精度的掩模对准器使得能够生产出大量具有精确特征尺寸的光掩模和光掩模。此外，该工具还配备了先进的数字图像处理和缺陷检测功能，提供了具有可重复结果的高质量模式。该资产还具有两步曝光后烘烤功能，有助于消除肿胀和腐蚀，改善曝光特征的回弹和附着力。此外,该模型还具有石英晶体传感器实时监控、单色CAL光盘和多用户计算机控制设备以及密码保护和审核日志等功能。CAP1411-636-36H光刻系统提供了一个快速高效的平台，为一系列光刻应用创建高精度的光掩模。其直观的用户界面、先进的曝光控制参数和数字图像处理功能使其成为任何光刻项目的理想选择。