二手 COBURN Stratum #9244709 待售

COBURN Stratum是一种光刻设备,它结合了先进的光学技术和光刻技术,在基板顶部创建高质量的三维结构。它已被用于半导体和微机电器件（MEMS）的众多应用。该系统由两个主要组件组成，即照明器和制图单元，每个单元在实现所需的结果方面都发挥着重要作用。首先，照明器为基板提供特定波长的光的均匀曝光。这种波长可能是从紫外线到绿色的，这取决于所使用的光致抗蚀剂的类型。光线必须是均匀的，以便提供产生所需图桉的可靠手段。照明器也可以用来根据图桉所需的细节水平来修改曝光。第二，图桉单元包括模具、蒙版、微透镜和对准单元。该模具用于绘制图样到一个基板上，该基板已经暴露在光线从照明。遮罩用于将所需的图桉传递到基板或基板表面。在图样上放置一个微透镜，以减小图样上特征的大小。对齐机确保面罩放置和最终基板的精度。一旦面膜就位，基板就会受到光照。这是通过使用激光或洪水暴露技术来完成的。曝光后，多余的光致抗蚀剂通过使用显影剂除去。显影剂含有化学物质，这些化学物质从基板上去除光致抗蚀剂，但保留所需的图样。为最终确定工艺，可以采用蚀刻或沉积技术进一步修改图样。Stratum是一种功能强大且用途广泛的光掩模工具。它被广泛的应用，包括半导体器件、MEMS器件和光电元件。性价比高，周转时间短，是成本敏感项目的一大利好。