二手 CONVAC 1001 #293653478 待售

CONVAC 1001是由CONVAC GmbH开发制造的高性能光阻设备，CONVAC GmbH是半导体行业先进加工系统和耗材的领先供应商。该系统适合各种工艺应用，专为薄膜光刻沉积、升空操作和半导体制造的高分辨率图样而设计。1001具有提供非常高的过程控制和精度的双束光学投影单元。该机使用精确对齐、聚焦在光阻基板上的准直光束，提供优越的图样传递和特征对准。专用软件和算法自动优化光刻胶图样性能，便于工艺参数调整，控制光照强度和波长。CONVAC 1001还具有一个高级涂层单元,其设计目的是在整个基板区域提供统一的覆盖范围。这确保了光刻涂层的质量一致，缺陷最小化，并且改善了光刻厚度的均匀性。该工具高度自动化，可以通过内置的基于Web的界面进行远程控制。此外，1001还配备了实时监控资产，跟踪薄膜光刻涂层的工艺参数，提供高的工艺控制和反馈，以获得最佳性能。总体而言，CONVAC 1001光刻胶模型是广泛光电和半导体工艺应用的理想解决方桉。它提供卓越的性能、精确度和控制,使其成为灵活制造、更高产量和低成本制造的理想选择。