二手 CONVAC / FAIRCHILD 8000 #114088 待售

CONVAC / FAIRCHILD 8000
製造商
CONVAC / FAIRCHILD
模型
8000
ID: 114088
晶圆大小: 8"
coater, 8", cassette to cassette.
CONVAC/FAIRCHILD 8000是一种最先进的光刻设备,广泛用于光刻和制图,特别是半导体加工。CONVAC 8000提供了一系列全面的特性和功能,使其成为要求苛刻的应用程序的理想选择。FAIRCHILD 8000由一个光刻室组成,包含一系列加工元件。这包括一个基板和框架、一个光刻胶装载机、一个反应性离子蚀刻器、一个光刻胶蒸发器、一个等离子体源和一个自旋涂层。基板和框架为光刻胶提供机械支撑,而光刻胶装载机则精确地将材料装入和分配到基板上。反应性离子蚀刻器利用等离子体将图样和图样发展成光致抗蚀剂,而蒸发器则用于沉积金属或有机分子等不同材料。等离子体源可用于在光致抗蚀剂中产生自由基,自旋涂层用于将光致抗蚀剂均匀地涂在基板上。8000提供无与伦比的热稳定性和均匀性,允许精确且可重复的结果。此外,其先进的自动化功能(包括机器人技术和支持Web的用户界面)显着减少了人工劳动并优化了流程。该系统还可以与现有设备和其他成像系统相结合,进一步扩大其效用和能力。在性能方面,CONVAC/FAIRCHILD 8000拥有快速的处理时间和出色的分辨率,这使其成为许多应用程序的高度可靠的选择。此外,它的多用途底物尺寸、化学多功能性和各种真空级别为独特的应用程序提供了自定义设置。此外,该单元还可以使用各种基板,从硅到陶瓷、金属等等。总体而言,CONVAC 8000是行业领先的光刻机,具有无与伦比的热稳定性和可重复的结果。它提供了一系列全面的特性和功能,使其成为详细且要求苛刻的项目的理想选择。
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