二手 CONVAC M 2000 #293585687 待售

製造商
CONVAC
模型
M 2000
ID: 293585687
Spinner / Coater Gas: Boron.
CONVAC M 2000是一种用于半导体加工的光阻设备。它主要用于微电子光刻应用,如薄膜沉积、3D蚀刻和印刷电路板蚀刻。该系统旨在使用户能够以高精度快速开发各种先进的半导体结构。CONVAC M2000能够快速移动并精确对齐一系列光学工具,如步进器、扫描仪和显微镜。这使用户能够将复杂的3D形状转换为基板上精确的曲面特征。该设备可配置为手动和自动操作。M 2000具有独特的照片遮罩板,可用于从任何给定的设计中生成精确的图桉。该板由聚合物膜组成,对紫外线和X射线辐射敏感。用户在印版上选择一个或多个感光元素以生成所需的图桉。这可以通过将板直接暴露于辐射源或使用编程的设备如步进器来实现。机器还支持各种其他的过程,补充光刻操作。这包括后处理操作,如ashing、doping和sputtering。该工具还支持湿蚀刻,使用户能够在结构内更精确地蚀刻。M2000结合了先进的功能和易于使用的控制,为执行高质量的光刻胶操作提供了可靠且经济高效的方法。由于其高水平的准确性、灵活性和可扩展性,它是小型实验室和生产线的理想平台。
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